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机组型号 Model 泵型号Pump Model 抽气速率 Pumping Speed(L/S) 极限压力 Ultimate Pressure 进气口径 Inlet Diam (mm) 排气口径 Outlet Diam (mm) 配用功率Motor Power(KW)
主泵 Brief Pump 前级泵Backing Pump     (Pa)     (Torr) 主泵 Brief Pump 前级泵Backing Pump
I II I II
JZP2X70-5 ZJP-70D 2X-15   70 1X10-2 8X10-5 80 36 1.1 2.2  
JZP2X150-5 ZJP-150D 2X-30   150 1X10-2 8X10-5 100 50 2.2 3  
JZP2X300-4 ZJP-300D 2X-70   300 1X10-2 8X10-5 150 90 4 5.5  
JZCSG70-3 ZJC-70D SVG-100B   70 5 4X10-2 80 58 1.1 2.2  
JZCSG150-3 ZJC-150D SVG-200   150 1 7.5X10-3 100 58 2.2 4  
JZCSG300-4 ZJC-300D SVG-300B   300 1 7.5X10-3 150 58 4 5.5  
JZPSG70-4 ZJP-70D SVG-65   70 5 4X10-2 80 39 1.1 1.5  
JZPSG150-6 ZJP-150D SVG-100   150 5 4X10-2 100 58 2.2 2.2  
JZPSG260-6 ZJP-260 SVG-200   260 1 7.5X10-3 100 58 4 4  
JZPSG300-4 ZJP-300D SVG-300B   300 1 7.5X10-3 150 58 4 4  
JZCRVP300-4 ZJC-300D RVP-275   300 0.5 3.7X10-3 300   4 7.5

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